通过使用Apache POI库，我们可以在文本框内设置上标。下面是一个示例代码：

import org.apache.poi.xssf.usermodel.*;
import org.openxmlformats.schemas.drawingml.x2006.main.*;

import java.io.FileOutputStream;

public class SetSuperscriptInTextBoxExample {

    public static void main(String[] args) throws Exception {
        // 创建一个新的Excel工作簿
        XSSFWorkbook workbook = new XSSFWorkbook();
        XSSFSheet sheet = workbook.createSheet("Sheet1");

        // 创建一个文本框
        XSSFTextBox textBox = sheet.createDrawingPatriarch().createTextbox(new XSSFClientAnchor(0, 0, 0, 0, 1, 1, 5, 5));
        XSSFTextParagraph paragraph = textBox.addNewTextParagraph();
        XSSFTextRun run = paragraph.addNewTextRun();
        run.setText("Hello World");

        // 设置上标
        CTTextCharacterProperties charProps = run.getCTR().getRPr();
        if (charProps == null) charProps = run.getCTR().addNewRPr();
        CTVerticalAlignRun verticalAlign = charProps.addNewVertAlign();
        verticalAlign.setVal(STTextVerticalType.SUPERSCRIPT);

        // 保存Excel文件
        FileOutputStream fileOut = new FileOutputStream("workbook.xlsx");
        workbook.write(fileOut);
        fileOut.close();

        // 关闭工作簿
        workbook.close();
    }
}

这个示例代码创建了一个Excel工作簿，并在Sheet1上创建了一个文本框。然后，它将文本框中的文本设置为"Hello World"，并将其设置为上标。最后，它将工作簿保存到名为"workbook.xlsx"的文件中。

在这个示例中，我们使用了CTTextCharacterProperties和CTVerticalAlignRun类来设置上标。首先，我们获取或创建CTTextCharacterProperties对象，然后创建CTVerticalAlignRun对象，并将其值设置为STTextVerticalType.SUPERSCRIPT，表示上标。

请确保你已经在项目中包含了Apache POI库的依赖。