在ARM模板中，如果同时使用了Function MSDeploy和Event Grid订阅，可能会出现竞争条件。这是因为Function MSDeploy和Event Grid订阅都会监听资源的更改，并且可能会尝试同时对同一个资源进行操作。

为了解决这个问题，可以采取以下方法：

1. 使用DependsOn属性：在ARM模板中，可以使用DependsOn属性来定义资源之间的依赖关系。通过将Function MSDeploy和Event Grid订阅的资源之间建立正确的依赖关系，可以确保它们按照正确的顺序进行部署。

"dependsOn": [
    "[resourceId('Microsoft.Web/sites', variables('functionAppName'))]",
    "[resourceId('Microsoft.EventGrid/topics', variables('eventGridTopicName'))]"
]

2. 使用condition属性：可以使用condition属性来根据特定的条件决定是否部署某个资源。通过在Function MSDeploy和Event Grid订阅的资源上设置不同的condition属性，可以确保它们在不同的条件下进行部署。

"condition": "[equals(parameters('deployFunction'), true)]"

3. 调整部署顺序：如果上述方法无法解决竞争条件，可以尝试调整Function MSDeploy和Event Grid订阅的部署顺序。可以将Function MSDeploy的部署放在Event Grid订阅之前，或者将Event Grid订阅的部署放在Function MSDeploy之前，以确保它们按照正确的顺序部署。

"resources": [
    {
        "type": "Microsoft.Web/sites/extensions",
        "name": "[concat(variables('functionAppName'), '/MSDeploy')]",
        "apiVersion": "2019-08-01",
        "properties": {
            ...
        }
    },
    {
        "type": "Microsoft.EventGrid/topics/eventSubscriptions",
        "name": "[concat(variables('eventGridTopicName'), '/Microsoft.EventGrid/', variables('eventGridSubscriptionName'))]",
        "apiVersion": "2020-10-15-preview",
        "properties": {
            ...
        }
    }
]

通过以上方法，可以解决ARM模板中Function MSDeploy和Event Grid订阅之间的竞争条件，并确保它们按照正确的顺序进行部署。