甬矽电子获得实用新型专利授权：“导向装置及溅镀机”
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2025-03-05 00:21:07
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示甬矽电子（688362）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“导向装置及溅镀机”，专利申请号为CN202420553954.4，授权日为2025年3月4日。
专利摘要：一种导向装置及溅镀机，涉及半导体设备技术领域。该导向装置包括底板和沿第一方向滑动连接于底板上的导向机构；导向机构包括导向块，导向块上设有导向部，溅镀机的传动条被配置于导向部内；导向块受驱在底板上滑动，能够带动传动条沿第一方向运动，第一方向为传动条的宽度方向。该导向装置能够改善现有技术中传动条容易发生跑偏的问题，从而能够提高溅镀机的溅射均匀性。
今年以来甬矽电子新获得专利授权7个，较去年同期减少了12.5%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了9398.43万元，同比增52.57%。
数据来源：天眼查APP
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