甬矽电子获得实用新型专利授权:“导向装置及溅镀机”
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2025-03-05 00:21:07
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示甬矽电子(688362)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“导向装置及溅镀机”,专利申请号为CN202420553954.4,授权日为2025年3月4日。

专利摘要:一种导向装置及溅镀机,涉及半导体设备技术领域。该导向装置包括底板和沿第一方向滑动连接于底板上的导向机构;导向机构包括导向块,导向块上设有导向部,溅镀机的传动条被配置于导向部内;导向块受驱在底板上滑动,能够带动传动条沿第一方向运动,第一方向为传动条的宽度方向。该导向装置能够改善现有技术中传动条容易发生跑偏的问题,从而能够提高溅镀机的溅射均匀性。

今年以来甬矽电子新获得专利授权7个,较去年同期减少了12.5%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了9398.43万元,同比增52.57%。

数据来源:天眼查APP

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