至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆传输装置”
创始人
2025-03-11 12:40:36
0次
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆传输装置”，专利申请号为CN202420669579.X，授权日为2025年3月11日。
专利摘要：本实用新型设计晶圆传输技术领域，具体涉及一种晶圆传输装置。装置包括：R轴直驱电机模组，设于一固定底座上；Z轴直线模组，设于R轴直驱电机模组上，通过R轴直驱电机模组控制Z轴直线模组沿R轴旋转运动；X轴直线模组，设于Z轴直线模组上，通过Z轴直线模组控制X轴直线模组沿Z轴直线运动；片叉单元，设于X轴直线模组上，通过X轴直线模组控制片叉单元沿X轴直线运动，片叉单元内设有多个片叉，各相邻片叉之间相距设定的距离。本实用新型采用每片片叉之间的间距为固定值的设定，一次可以完整取出晶圆载具满载时的晶圆，结构简单，零部件数量少，机械系统的可靠性高，生产成本低。
今年以来至纯科技新获得专利授权6个，较去年同期增加了50%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1亿元，同比增0.92%。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
相关内容
热门资讯
一分钟揭秘！微信老友广东辅助器...
一分钟揭秘！微信老友广东辅助器，朋朋政和辅助，详细app（详细教程）1.微信老友广东辅助器 选牌创建...
最终！大菠萝手游辅助，德普之星...
最终！大菠萝手游辅助，德普之星有透视辅助吗，一贯真的有挂（有挂详细）1、德普之星有透视辅助吗免费辅助...
安装程序教程！科乐辅助工作室，...
安装程序教程！科乐辅助工作室，透视辅助功能插件，详细脚本（有挂助手）1、金币登录送、破产送、升级送、...
现就发布提示！hhpoker是...
现就发布提示！hhpoker是真的吗，德普之星辅助器，好像是真的有挂（有挂详情）1、下载好德普之星辅...
分享一款！老友地方内蒙古辅助，...
分享一款！老友地方内蒙古辅助，微信神兽大厅源代码，详细工具（有挂教学）一、微信神兽大厅源代码可以开透...
黑科技技巧！hhpoker德州...
黑科技技巧！hhpoker德州机器人，德扑之星透视，原来存在有挂（有挂分析）1、每一步都需要思考，不...
玩家必备科技！广西老友玩老是输...
玩家必备科技！广西老友玩老是输怎么办，传送屋激k辅助器，详细方法（有挂透视）在进入广西老友玩老是输怎...
黑科技技巧！wepoker辅助...
黑科技技巧！wepoker辅助器怎么弄，德普之星透视辅助软件是真的吗，竟然存在有挂（讲解有挂）1、德...
技术分享！广东闲来辅助神器免费...
技术分享！广东闲来辅助神器免费版，九九联盟辅助教程，详细脚本（有挂详细）；1、下载好广东闲来辅助神器...
来临！wepoker私人局开挂...
来临！wepoker私人局开挂视频，智星菠萝有挂吗，本来存在有挂（确实有挂）一、智星菠萝有挂吗游戏安...