至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆传输装置”
创始人
2025-03-11 12:40:36
0次
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆传输装置”，专利申请号为CN202420669579.X，授权日为2025年3月11日。
专利摘要：本实用新型设计晶圆传输技术领域，具体涉及一种晶圆传输装置。装置包括：R轴直驱电机模组，设于一固定底座上；Z轴直线模组，设于R轴直驱电机模组上，通过R轴直驱电机模组控制Z轴直线模组沿R轴旋转运动；X轴直线模组，设于Z轴直线模组上，通过Z轴直线模组控制X轴直线模组沿Z轴直线运动；片叉单元，设于X轴直线模组上，通过X轴直线模组控制片叉单元沿X轴直线运动，片叉单元内设有多个片叉，各相邻片叉之间相距设定的距离。本实用新型采用每片片叉之间的间距为固定值的设定，一次可以完整取出晶圆载具满载时的晶圆，结构简单，零部件数量少，机械系统的可靠性高，生产成本低。
今年以来至纯科技新获得专利授权6个，较去年同期增加了50%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1亿元，同比增0.92%。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
相关内容
热门资讯
利好又来了！国家药监局公示两项...
来源：澎湃新闻 大火的脑机接口概念又迎来新的政策利好。 1月9日，国家药监局官网发布2项推荐性医疗器...
强强联手！出版与科技企业在京签...
封面新闻记者 张杰 北京报道 当前，数字经济正重塑各行各业，出版业也迎来“内容+科技”深度融合的关键...
零跑科技取得车辆指示灯控制电路...
国家知识产权局信息显示，浙江零跑科技股份有限公司取得一项名为“车辆指示灯的控制电路及车辆”的专利，授...
浙江亿脉不锈钢取得不锈钢管用高...
国家知识产权局信息显示，浙江亿脉不锈钢有限公司取得一项名为“一种不锈钢管用高效率打磨机”的专利，授权...
金盾股份：介绍涵道风扇零件精度...
来源：问董秘 投资者提问： 涵道风扇的桨叶和涵道具有复杂的三维气动型面，制造偏差会显著影响气动性能。...
【环时深度】2026 CES展...
【环球时报记者 杨沙沙 王冬 环球时报驻美国特约记者 卓然】编者的话：1月6日至9日，位于世界科技舞...
任天堂推出Switch 2新一...
观点网讯：1月9日，任天堂宣布推出Switch 2新一代Joy-Con 2手柄新配色，左手柄为淡紫色...
澄天伟业董事长冯学裕：以精密工...
本报记者 王镜茹 随着算力基础设施建设提速，散热技术成为制约AI服务器性能释放的关键因素。在风冷向液...
瑞易信科技取得间接蒸发双冷源一...
国家知识产权局信息显示，广州瑞易信科技有限公司取得一项名为“一种间接蒸发双冷源一体机”的专利，授权公...
新兴铸管取得球墨铸铁管拨管装置...
国家知识产权局信息显示，新兴铸管股份有限公司取得一项名为“一种球墨铸铁管拨管装置”的专利，授权公告号...