至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆传输装置”
创始人
2025-03-11 12:40:36
0次
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆传输装置”，专利申请号为CN202420669579.X，授权日为2025年3月11日。
专利摘要：本实用新型设计晶圆传输技术领域，具体涉及一种晶圆传输装置。装置包括：R轴直驱电机模组，设于一固定底座上；Z轴直线模组，设于R轴直驱电机模组上，通过R轴直驱电机模组控制Z轴直线模组沿R轴旋转运动；X轴直线模组，设于Z轴直线模组上，通过Z轴直线模组控制X轴直线模组沿Z轴直线运动；片叉单元，设于X轴直线模组上，通过X轴直线模组控制片叉单元沿X轴直线运动，片叉单元内设有多个片叉，各相邻片叉之间相距设定的距离。本实用新型采用每片片叉之间的间距为固定值的设定，一次可以完整取出晶圆载具满载时的晶圆，结构简单，零部件数量少，机械系统的可靠性高，生产成本低。
今年以来至纯科技新获得专利授权6个，较去年同期增加了50%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1亿元，同比增0.92%。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
相关内容
热门资讯
AI赋能元宵行街会+“非遗＋科...
3月3日元宵佳节，2026年杨浦区环同济第二十一届“元宵行街会”暨中华优秀传统文化主题汇演活动隆重举...
下一次是2072年！今晚别忘抬...
正月十五元宵节 又到一年赏月时 🌕 今晚元宵夜 一场月全食将在夜空上演 天文专家表示 月全食落在农历...
《扬州市具身智能产业发展行动方...
记者从近日召开的市工信局新闻发布会了解到，新出炉的《扬州市具身智能产业发展行动方案（2026—202...
技巧知识分享！心悦填大坑作辅助...
>>您好：心悦填大坑作辅助下载确实是有挂的，很多玩家在这款心悦填大坑作辅助下载游戏中打牌都会发现很多...
重大通报！新海贝辅助（透视）w...
重大通报！新海贝辅助（透视）wepoker辅助器软件下载（细节方法有挂技巧） 了解更多开挂安装加（1...
6G技术与咖啡机器人双星闪耀M...
来源：滚动播报 （来源：上观新闻） 被誉为“全球通信行业风向标”的2026年欧洲国际移动通讯展（M...
最新通报！开心泉州小程序福州（...
最新通报！开心泉州小程序福州（透视）hh poker透视器下载（总结教程有挂技巧）；无需打开直接搜索...
重要通知！红黑大战控制系统（透...
您好：红黑大战控制系统这款游戏可以开挂的，确实是有挂的，很多玩家在这款游戏中打牌都会发现很多用户的牌...
科普分享！欢聚水鱼智能辅助教程...
科普分享！欢聚水鱼智能辅助教程（透视）aapoker辅助怎么用（安装教程存在有挂）>>您好：软件加1...
推荐十款！广西老友玩有破解视频...
推荐十款！广西老友玩有破解视频（透视）大菠萝789辅助器下载（软件教程有挂透明挂）【无需打开直接搜索...