至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆传输装置”_科技动态

至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆传输装置”

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2025-03-11 12:40:36

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆传输装置”，专利申请号为CN202420669579.X，授权日为2025年3月11日。

专利摘要：本实用新型设计晶圆传输技术领域，具体涉及一种晶圆传输装置。装置包括：R轴直驱电机模组，设于一固定底座上；Z轴直线模组，设于R轴直驱电机模组上，通过R轴直驱电机模组控制Z轴直线模组沿R轴旋转运动；X轴直线模组，设于Z轴直线模组上，通过Z轴直线模组控制X轴直线模组沿Z轴直线运动；片叉单元，设于X轴直线模组上，通过X轴直线模组控制片叉单元沿X轴直线运动，片叉单元内设有多个片叉，各相邻片叉之间相距设定的距离。本实用新型采用每片片叉之间的间距为固定值的设定，一次可以完整取出晶圆载具满载时的晶圆，结构简单，零部件数量少，机械系统的可靠性高，生产成本低。

今年以来至纯科技新获得专利授权6个，较去年同期增加了50%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1亿元，同比增0.92%。

数据来源：天眼查APP

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