至纯科技获得实用新型专利授权:“一种晶圆传输装置”
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2025-03-11 12:40:36
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示至纯科技(603690)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆传输装置”,专利申请号为CN202420669579.X,授权日为2025年3月11日。

专利摘要:本实用新型设计晶圆传输技术领域,具体涉及一种晶圆传输装置。装置包括:R轴直驱电机模组,设于一固定底座上;Z轴直线模组,设于R轴直驱电机模组上,通过R轴直驱电机模组控制Z轴直线模组沿R轴旋转运动;X轴直线模组,设于Z轴直线模组上,通过Z轴直线模组控制X轴直线模组沿Z轴直线运动;片叉单元,设于X轴直线模组上,通过X轴直线模组控制片叉单元沿X轴直线运动,片叉单元内设有多个片叉,各相邻片叉之间相距设定的距离。本实用新型采用每片片叉之间的间距为固定值的设定,一次可以完整取出晶圆载具满载时的晶圆,结构简单,零部件数量少,机械系统的可靠性高,生产成本低。

今年以来至纯科技新获得专利授权6个,较去年同期增加了50%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了1亿元,同比增0.92%。

数据来源:天眼查APP

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