至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆传输装置”
创始人
2025-03-11 12:40:36
0次
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆传输装置”，专利申请号为CN202420669579.X，授权日为2025年3月11日。
专利摘要：本实用新型设计晶圆传输技术领域，具体涉及一种晶圆传输装置。装置包括：R轴直驱电机模组，设于一固定底座上；Z轴直线模组，设于R轴直驱电机模组上，通过R轴直驱电机模组控制Z轴直线模组沿R轴旋转运动；X轴直线模组，设于Z轴直线模组上，通过Z轴直线模组控制X轴直线模组沿Z轴直线运动；片叉单元，设于X轴直线模组上，通过X轴直线模组控制片叉单元沿X轴直线运动，片叉单元内设有多个片叉，各相邻片叉之间相距设定的距离。本实用新型采用每片片叉之间的间距为固定值的设定，一次可以完整取出晶圆载具满载时的晶圆，结构简单，零部件数量少，机械系统的可靠性高，生产成本低。
今年以来至纯科技新获得专利授权6个，较去年同期增加了50%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1亿元，同比增0.92%。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
相关内容
热门资讯
分辨真假！微信呢小程序微乐房间...
分辨真假！微信呢小程序微乐房间怎么开挂，奇迹辅助思维脚本，详细攻略（有挂技术）1、很好的工具软件，可...
我来教大家！hhpoker作笔...
我来教大家！hhpoker作笔实战视频，甘肃胡乐白银辅助，详细教程（有挂教程）1、下载好hhpoke...
分享认知！博乐填大坑有没有bu...
分享认知！博乐填大坑有没有buff，微友辅助神器下载，详细神器（有挂教学）1、博乐填大坑有没有buf...
推荐一款！来几局是正规平台吗，...
推荐一款！来几局是正规平台吗，微乐小程序辅助器代理，详细挂（确实有挂）1、操作简单，无需微乐小程序辅...
玩家必备教程！皇豪辅助，杭州都...
玩家必备教程！皇豪辅助，杭州都莱大菠萝辅助器，详细神器（发现有挂）1、杭州都莱大菠萝辅助器辅助软件下...
一分钟揭秘！老友广东辅助器，钱...
一分钟揭秘！老友广东辅助器，钱塘十水三挂件，详细技巧（有挂分析）1、钱塘十水三挂件模拟器是什么优化，...
攻略讲解！创思维激k辅助工具，...
攻略讲解！创思维激k辅助工具，微信小程序微乐辅助器脚本，详细技巧（有挂教程）1、下载好微信小程序微乐...
玩家必看科普！老友辅助器，赣牌...
玩家必看科普！老友辅助器，赣牌圈插件，详细方法（存在有挂）老友辅助器是不是有人用挂微扑克wpk插件教...
盘点一款！火神辅助免费下载，互...
盘点一款！火神辅助免费下载，互游辅助518，详细技巧（有挂透视）运火神辅助免费下载辅助工具，进入游戏...
查到实测！三哥玩辅助，丽水都莱...
查到实测！三哥玩辅助，丽水都莱辅助软件，详细挂（有挂详情）1）丽水都莱辅助软件免费钻石：进一步探索丽...