至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆传输装置”
创始人
2025-03-11 12:40:36
0次
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆传输装置”，专利申请号为CN202420669579.X，授权日为2025年3月11日。
专利摘要：本实用新型设计晶圆传输技术领域，具体涉及一种晶圆传输装置。装置包括：R轴直驱电机模组，设于一固定底座上；Z轴直线模组，设于R轴直驱电机模组上，通过R轴直驱电机模组控制Z轴直线模组沿R轴旋转运动；X轴直线模组，设于Z轴直线模组上，通过Z轴直线模组控制X轴直线模组沿Z轴直线运动；片叉单元，设于X轴直线模组上，通过X轴直线模组控制片叉单元沿X轴直线运动，片叉单元内设有多个片叉，各相邻片叉之间相距设定的距离。本实用新型采用每片片叉之间的间距为固定值的设定，一次可以完整取出晶圆载具满载时的晶圆，结构简单，零部件数量少，机械系统的可靠性高，生产成本低。
今年以来至纯科技新获得专利授权6个，较去年同期增加了50%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1亿元，同比增0.92%。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
相关内容
热门资讯
总算了解！微乐家乡麻辣自建房辅...
总算了解！微乐家乡麻辣自建房辅助app，微乐辅助脚本-一直真的有辅助app（有挂细节）一、微乐家乡麻...
解密关于！微乐小程序微乐辅助软...
解密关于！微乐小程序微乐辅助软件，微乐广西麻辣-竟然真的是有辅助app（有挂规律）1）微乐小程序微乐...
查到实测！微信小程序微乐房间怎...
查到实测！微信小程序微乐房间怎么开挂，微乐手游脚本辅助-总是有辅助方法（有挂教学）1）微信小程序微乐...
技巧知识分享！微信微乐辅助，微...
技巧知识分享！微信微乐辅助，微乐手游辅助脚本平台-真是存在有辅助脚本（有挂规律）1、点击下载安装，微...
教学盘点！微信微乐小程序修改器...
教学盘点！微信微乐小程序修改器，微乐贵阳麻将辅助-一直真的是有辅助挂（有人有挂）在进入微信微乐小程序...
分享认知！微信小程序微乐辅助器...
分享认知！微信小程序微乐辅助器教程，微乐斗地主有挂吗-确实是有辅助神器（真的有挂）1、超多福利：超高...
详细说明！小程序微乐游戏辅助器...
详细说明！小程序微乐游戏辅助器，微乐自建房脚本免费下载-真是真的是有辅助插件（真是有挂）在进入小程序...
如何分辨真伪！微乐小程序免费工...
如何分辨真伪！微乐小程序免费工具，微信微乐游戏破解器-真是存在有辅助脚本（了解有挂）1、这是跨平台的...
玩家必看攻略！微乐陕西小程序破...
玩家必看攻略！微乐陕西小程序破解器，微乐小程序修复系统有用吗-好像有辅助技巧（有挂分享）1、微乐陕西...
我来教大家！微乐手游辅助脚本平...
我来教大家！微乐手游辅助脚本平台，微乐微信小程序辅助软件-切实是真的有辅助软件（有挂教程）1、下载好...