润新微电子申请晶圆制备方法专利,促进半导体技术领域发展
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2025-05-13 12:20:26
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金融界2025年5月13日消息,国家知识产权局信息显示,润新微电子(大连)有限公司申请一项名为“一种晶圆的制备方法”的专利,公开号CN119965197A,申请日期为2024年9月。

专利摘要显示,本发明属于半导体技术领域,公开了一种晶圆的制备方法,包括如下步骤:制备晶圆过渡结构,再在晶圆过渡结构的过渡层上进行图形化刻蚀,形成漏电极第三电极;再从晶圆过渡结构的第二介电层向下刻蚀出栅电极开窗口、源电极开窗口,或,刻蚀出栅电极开窗口、源电极开窗口及漏电极开窗口,得到晶圆;晶圆过渡结构的过渡层覆盖部分晶圆过渡结构的正面,晶圆过渡结构的正面短接作为晶圆过渡结构的上电极,晶圆过渡结构的背面短接作为晶圆过渡结构的下电极;晶圆过渡结构和晶圆均包括多个芯片,芯片的第一电阻电极为三端连接,芯片的第二电阻电极贯穿叠层结构和第一介电层,芯片的第二电阻电极的一端位于衬底中,另一端位于第二介电层中。

天眼查资料显示,润新微电子(大连)有限公司,成立于2016年,位于大连市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本13097.1707万人民币。通过天眼查大数据分析,润新微电子(大连)有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目14次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息55条,此外企业还拥有行政许可17个。

来源:金融界

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