华海清科获得发明专利授权：“晶圆承载台及化学机械抛光设备”
创始人
2025-06-18 15:00:36
0次
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆承载台及化学机械抛光设备”，专利申请号为CN202411873999.0，授权日为2025年6月17日。
专利摘要：本申请实施例提供了一种晶圆承载台及化学机械抛光设备。该晶圆承载台包括：平台，用于放置工件；摆动轴，固定连接于所述平台；支撑机构，所述摆动轴可摆动地连接于所述支撑机构，底座，开设有容置孔，所述支撑机构设置于所述容置孔，并且，所述摆动轴随着所述平台摆动时所述支撑机构可对所述摆动轴提供轴向缓冲支撑；弹性机构，设置于所述平台与所述底座之间，用于在所述平台摆动时发生形变以适应性支撑所述平台。在平台摆动过程中，由于本申请中的支撑机构始终沿着容置孔的轴向移动，对平台进行有效定位，防止轴心的偏移，从而保证了平台在抛光作业中的稳定性。
今年以来华海清科新获得专利授权47个，较去年同期增加了147.37%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
相关内容
热门资讯
长期以来！九九山城万州辅助，都...
长期以来！九九山城万州辅助，都是存在有辅助下载（有挂方略）-哔哩哔哩1、玩家可以在九九山城万州辅助透...
经调查！边锋老友荣成辅助，一直...
经调查！边锋老友荣成辅助，一直存在有辅助挂（有挂头条）-哔哩哔哩1、边锋老友荣成辅助脚本辅助下载、边...
受玩家影响！吉祥填大坑脚本小程...
受玩家影响！吉祥填大坑脚本小程序，都是真的是有辅助神器（有挂工具）-哔哩哔哩1、首先打开吉祥填大坑脚...
网友热议！约局吧脚本透视开挂，...
网友热议！约局吧脚本透视开挂，确实有挂辅助器（详细教程）-哔哩哔哩约局吧脚本透视开挂辅助器是一种具有...
现有关情况通报如下！家家盘锦麻...
现有关情况通报如下！家家盘锦麻将辅助，总是是真的辅助修改器（有挂技术）-哔哩哔哩1、超多福利：超高返...
据公告内容！心悦填大坑技巧分析...
据公告内容！心悦填大坑技巧分析器，确实是有辅助神器（有挂总结）-哔哩哔哩1、这是跨平台的心悦填大坑技...
据目击者称！随意玩免费辅助器，...
据目击者称！随意玩免费辅助器，一贯有挂辅助软件（讲解有挂）-哔哩哔哩运随意玩免费辅助器辅助工具，进入...
目前来看！创思维怎么开挂，都是...
目前来看！创思维怎么开挂，都是真的有辅助挂（有挂教学）-哔哩哔哩1）创思维怎么开挂辅助插件：进一步探...
为切实保障！潮汕激k辅助，竟然...
为切实保障！潮汕激k辅助，竟然是有辅助app（有挂解密）-哔哩哔哩一、潮汕激k辅助可以开透视的定义与...
据了解！微信小程序中至赣牌圈辅...
据了解！微信小程序中至赣牌圈辅助，真是是有辅助挂（有挂教程）-哔哩哔哩微信小程序中至赣牌圈辅助辅助器...