华海清科获得发明专利授权：“晶圆承载台及化学机械抛光设备”
创始人
2025-06-18 15:00:36
0次
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆承载台及化学机械抛光设备”，专利申请号为CN202411873999.0，授权日为2025年6月17日。
专利摘要：本申请实施例提供了一种晶圆承载台及化学机械抛光设备。该晶圆承载台包括：平台，用于放置工件；摆动轴，固定连接于所述平台；支撑机构，所述摆动轴可摆动地连接于所述支撑机构，底座，开设有容置孔，所述支撑机构设置于所述容置孔，并且，所述摆动轴随着所述平台摆动时所述支撑机构可对所述摆动轴提供轴向缓冲支撑；弹性机构，设置于所述平台与所述底座之间，用于在所述平台摆动时发生形变以适应性支撑所述平台。在平台摆动过程中，由于本申请中的支撑机构始终沿着容置孔的轴向移动，对平台进行有效定位，防止轴心的偏移，从而保证了平台在抛光作业中的稳定性。
今年以来华海清科新获得专利授权47个，较去年同期增加了147.37%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
相关内容
热门资讯
小型氢气传感器的优势有哪些？
小型氢气传感器的优势主要体现在以下几个方面： 1.体积小巧，便于安装和集成 小型氢气传感器设计紧...
原创 正...
地球知识局 文字 | 按时吃饭 制图 | 哈 校对 | 朝乾 编辑 |哈 13％，这是沙漠在中国陆...
南京市鼓楼区：以“算法”为钥“...
算法是软件的灵魂，是人工智能的大脑，无论是大模型还是智能体，都离不开算法的加持。 算法驱动创新，数字...
中国—东盟青年领军者与广西企业...
6月15日，中国—东盟青年领军者研修班分别前往位于南宁市青秀区的润建五象云谷智算中心和位于隆安县的金...
景区负氧离子监测仪器：用数据展...
JD-FZ1在现代旅游观念中，游客对景区的要求已不再局限于自然风光和人文景观，对景区的空气质量，尤其...
罗永浩数字人来了，产业互联网近...
罗永浩联合百度做了一场数字人直播，这么大的KOL用数字人做直播，可以说是第一个敢于吃螃蟹的人。不过，...
172nm紫外光刻：重塑微流控...
微流控芯片作为“芯片实验室”的核心载体，在生物医学检测、单细胞分析和即时诊断等领域展现出巨大潜力。然...
微信公众号 SEO 优化全攻略...
在微信生态系统中，公众号数量与日俱增，竞争愈发激烈。要想让公众号在众多内容中脱颖而出，获得更多曝光与...
大鼠尾吊失重模型实验箱：准确模...
啮齿类大鼠尾吊失重模型实验箱是一种适用于航天医学领域对大鼠进行固定并开展失重、药等方面研究的实验用大...
第五届鲲鹏青少年科幻文学奖宣讲...
深圳商报·读创客户端首席记者 吴吉 通讯员 林颖 在科技飞速发展的当下，科幻文学作为连接科学与想象...