华海清科获得发明专利授权：“晶圆承载台及化学机械抛光设备”_科技动态

华海清科获得发明专利授权：“晶圆承载台及化学机械抛光设备”

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2025-06-18 15:00:36

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆承载台及化学机械抛光设备”，专利申请号为CN202411873999.0，授权日为2025年6月17日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种晶圆承载台及化学机械抛光设备。该晶圆承载台包括：平台，用于放置工件；摆动轴，固定连接于所述平台；支撑机构，所述摆动轴可摆动地连接于所述支撑机构，底座，开设有容置孔，所述支撑机构设置于所述容置孔，并且，所述摆动轴随着所述平台摆动时所述支撑机构可对所述摆动轴提供轴向缓冲支撑；弹性机构，设置于所述平台与所述底座之间，用于在所述平台摆动时发生形变以适应性支撑所述平台。在平台摆动过程中，由于本申请中的支撑机构始终沿着容置孔的轴向移动，对平台进行有效定位，防止轴心的偏移，从而保证了平台在抛光作业中的稳定性。

今年以来华海清科新获得专利授权47个，较去年同期增加了147.37%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。

数据来源：天眼查APP

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