朗姆研究申请处理工具中的气流控制专利,提供一种处理工具
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2025-07-19 01:40:46
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金融界2025年7月18日消息,国家知识产权局信息显示,朗姆研究公司申请一项名为“处理工具中的气流控制”的专利,公开号CN120345049A,申请日期为2023年11月。

专利摘要显示,一个示例提供了一种处理工具,处理工具包括处理室以及流体连接到处理室的远程等离子体产生器(RPG)。处理工具还包括用于混合并输送气体到RPG的RPG气体供应系统。RPG气体供应系统包括用于以第一较低的流速向RPG输送第一气体的第一RPG气体管线,用于以第二较高的流速向RPG输送第二气体的第二RPG气体管线,连接第一RPG气体管线和第二RPG气体管线的接头,在第一RPG气体管线中的孔口,在第二RPG气体管线上的分流阀,分流阀用以将流量从RPG分流,以及将接头和RPG连接的共享RPG气体管线。

来源:金融界

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