朗姆研究申请处理工具中的气流控制专利，提供一种处理工具
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2025-07-19 01:40:46
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金融界2025年7月18日消息，国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“处理工具中的气流控制”的专利，公开号CN120345049A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，一个示例提供了一种处理工具，处理工具包括处理室以及流体连接到处理室的远程等离子体产生器(RPG)。处理工具还包括用于混合并输送气体到RPG的RPG气体供应系统。RPG气体供应系统包括用于以第一较低的流速向RPG输送第一气体的第一RPG气体管线，用于以第二较高的流速向RPG输送第二气体的第二RPG气体管线，连接第一RPG气体管线和第二RPG气体管线的接头，在第一RPG气体管线中的孔口，在第二RPG气体管线上的分流阀，分流阀用以将流量从RPG分流，以及将接头和RPG连接的共享RPG气体管线。
来源：金融界
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