晶盛机电获得发明专利授权:“晶圆上料装置及清洗机”
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2025-09-14 00:22:03
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆上料装置及清洗机”,专利申请号为CN202510792190.3,授权日为2025年9月12日。

专利摘要:本申请提供了一种晶圆上料装置及清洗机,属于晶圆清洗技术领域,解决了现有技术晶圆上料过程损伤率高的问题。本申请的晶圆上料装置包括送料组件和集料组件,送料组件包括传动辊组和第一驱动机构,传动辊组具有多个传动辊,多个传动辊之间形成输送通道,输送通道允许投入晶圆并输送,输送通道沿第一方向延伸,第一方向呈竖直向下或倾斜向下,第一驱动机构作用于传动辊;集料组件包括料框和第二驱动机构,料框设置于传动辊组下方,料框内设有集料工位,第二驱动机构作用于料框,带动料框移动切换集料工位对接输送通道;集料工位与传动辊组之间形成让位区,用于避让随集料工位同步移动的晶圆。本申请提供新的上料方式,可降低晶圆上料损伤率。

今年以来晶盛机电新获得专利授权90个,较去年同期减少了10.89%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4.65亿元,同比减23.93%。

通过天眼查大数据分析,浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业,参与招投标项目197次;财产线索方面有商标信息112条,专利信息1082条,著作权信息139条;此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源:天眼查APP

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