扬杰科技获得实用新型专利授权:“一种晶圆加工用涂胶装置”
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2025-10-14 08:01:46
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示扬杰科技(300373)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆加工用涂胶装置”,专利申请号为CN202423084010.6,授权日为2025年10月14日。

专利摘要:本实用新型公开了一种晶圆加工用涂胶装置,包括:涂料组件,所述涂料组件包括旋转吸附台、C形板、涂胶头以及圆形卡槽;气泡消除组件,所述气泡消除组件包括锥形筒、轴杆、第一搅拌杆、第二搅拌杆、第三搅拌杆以及承接杆,所述C形板顶部固定连接承接杆一端,所述承接杆另一端固定连接锥形筒,所述锥形筒中活动连接轴杆,所述轴杆侧部活动连接第一搅拌杆、第二搅拌杆以及第三搅拌杆。本实用新型能够实现对锥形筒内部的光刻胶进行搅拌,使光刻胶中气泡均匀地上升并逸出,有效防止在晶圆表面形成缺陷,且锥形筒能够更好地配合不同长度的第一搅拌杆、第二搅拌杆以及第三搅拌杆旋转,使光刻胶在容器内形成更有利于气泡上升的螺旋式流动路径。

今年以来扬杰科技新获得专利授权80个,较去年同期增加了15.94%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.2亿元,同比增11.74%。

通过天眼查大数据分析,扬州扬杰电子科技股份有限公司共对外投资了28家企业,参与招投标项目188次;财产线索方面有商标信息6条,专利信息758条,著作权信息5条;此外企业还拥有行政许可233个。

数据来源:天眼查APP

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