广立微获得实用新型专利授权:“ILD厚度监测结构”
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2025-10-18 00:21:48
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示广立微(301095)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“ILD厚度监测结构”,专利申请号为CN202422857931.5,授权日为2025年10月17日。

专利摘要:本申请涉及一种ILD厚度监测结构,包括:测试单元和金属走线层,其中,所述测试单元包括:衬底,所述衬底上形成有有源区;栅极结构,形成于所述有源区上;以及层间介质层,覆盖所述栅极结构,其中,在所述层间介质层中形成有接触孔;所述金属走线层形成于所述层间介质层上,包括第一金属线和第二金属线,所述第一金属线通过所述接触孔与所述栅极结构电接触,且所述第二金属线交叠于所述栅极结构的第一区域。本申请有效监控交叠区域的ILD介质层过薄导致的金属层和栅极的漏电,提高了工艺监测的效率。

今年以来广立微新获得专利授权58个,较去年同期增加了87.1%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.44亿元,同比增9.1%。

通过天眼查大数据分析,杭州广立微电子股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目48次;财产线索方面有商标信息132条,专利信息232条,著作权信息92条;此外企业还拥有行政许可57个。

数据来源:天眼查APP

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