本报讯 (记者李雯珊)近日,2025湾区半导体产业生态博览会(以下简称“湾芯展”)在深圳会展中心隆重举办。苏州新施诺半导体设备有限公司(以下简称“新施诺”)携自主研发的AMHS天车系统亮相湾芯展,现场展示OHT(天车系统)真实运行效果。
本届湾芯展,新施诺荣获“2025‘湾芯奖’之卓越企业奖”,该奖项在深圳市人民政府、深圳市发展和改革委员会、中国国际工程咨询有限公司的指导下,由行业领袖、权威学者及资深专家组成专业评审委员会,结合专业观众公开投票综合评选。
随着晶圆制造工艺向更高制程(如14nm以下节点)和更大尺寸(12英寸成为主流)演进,晶圆厂对自动化物料搬运系统(Automatic Material Handling System,AMHS)的需求大幅上升,对物流系统的效率、精度和稳定性要求达到前所未有的高度。
新施诺销售副总经理屠杰认为,12英寸晶圆厂已成为行业主流,其生产规模大、工艺复杂、对良率敏感性高,对AMHS天车系统提出了极致要求。
针对12英寸晶圆厂在物流系统方面高洁净度、高稳定性、高效率传送、高复杂度、低振动以及全自动化系统对接的需求,OHT系统凭借其卓越的性能,正成为晶圆制造厂物流自动化方案的核心。
面对挑战,新施诺以“聚焦关键痛点,打造比较优势”为核心战略,走出了一条务实而高效的破局之路。在技术创新方面,新施诺已实现OHT轻量化设计迭代,并在控制器架构、技术路线及操作系统选择上形成了独特优势,致力于打造更加稳定、高效、可控的国产天车系统。
在生态建设上,新施诺始终坚持开放合作的理念,通过供应链联盟,深化与集成商的协同合作,推进战略合作与产业安全布局,实现资源共享、风险共担、共同验证,推动公司和全行业的进阶。
(编辑 张伟)