中科飞测获得发明专利授权:“检测系统及方法”
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2025-11-01 06:00:26
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中科飞测(688361)新获得一项发明专利授权,专利名为“检测系统及方法”,专利申请号为CN201810954898.4,授权日为2025年10月31日。

专利摘要:本发明公开了一种检测系统及方法。检测系统包括:检测组件,其被配置为基于检测光束来生成检测光斑,检测光斑包括探测区域,探测区域为线形;信号收集组件,其被配置为收集检测光斑经被测物散射后形成的信号光,进而生成与检测光斑相对应的检测信息;以及处理器组件,其被配置为基于探测区域获取的检测信息来确定被测物上的缺陷特征信息。通过采用本发明的技术方案,节约了晶圆的移动时间,能明显增加检测速度和精度。

今年以来中科飞测新获得专利授权77个,较去年同期减少了29.36%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.85亿元,同比增37.79%。

通过天眼查大数据分析,深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目268次;财产线索方面有商标信息337条,专利信息1050条,著作权信息36条;此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源:天眼查APP

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