拓荆科技获得发明专利授权:“一种装载设备”
创始人
2025-11-10 03:40:25
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拓荆科技(688072)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种装载设备”,专利申请号为CN202111523568.8,授权日为2025年11月7日。

专利摘要:本申请提供一种装载设备,包括腔室本体,所述腔室本体的腔室内设有用于加热晶圆的加热盘,所述腔室本体的壁内设有冷却通道;所述冷却通道用于连接恒温系统。本方案中冷却管道可以与外部的恒温系统连接,恒温系统设有热交换器,可以提供具有恒定温度的介质,介质流入冷却通道,继而在腔室本体的壁内流动,以使腔室本体的壁具有恒定的温度,则无需对腔室本体进行过多的隔热处理,具有更好的维护性,而且由于温度得到控制,其他构件与腔室本体连接处的密封圈结构性能得以保障,从而也就有利于提高真空密封的可靠性。

今年以来拓荆科技新获得专利授权58个,较去年同期增加了114.81%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了3.01亿元,同比减4.33%。

通过天眼查大数据分析,拓荆科技股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目98次;财产线索方面有商标信息110条,专利信息732条,著作权信息32条;此外企业还拥有行政许可33个。

数据来源:天眼查APP

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