华虹半导体申请取环工艺方法专利,促使Ring环更顺利掉落
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2026-01-23 13:00:54
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国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司、华虹半导体制造(无锡)有限公司申请一项名为“取环的工艺方法”的专利,公开号CN121368351A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本发明公开了一种取环的工艺方法,对于已经完成减薄工艺的Taiko晶圆,在对晶圆进行环切时,设定入刀参数,切割步骤不少于两步的分步入刀环切;首先平转时设定第一次切割,第一次的入刀深度,实现膜与Ring环预分离;再设定第二次切割,第二次的入刀深度,随着晶圆旋转上升时慢慢递进,减小刀对膜的作用力;所述的第一次入刀深度小于第二次入刀深度。本发明所述的优化取环的工艺方法,根据Ring环特性,分阶段选用更合适的入刀深度,平转时设定浅入刀深度,实现膜与Ring环预分离,再次入刀深度随着晶圆旋转上升时慢慢递进,减小刀对膜的作用力,促使Ring环更顺利掉落。

天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2944次,专利信息1983条,此外企业还拥有行政许可117个。

华虹半导体制造(无锡)有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体制造(无锡)有限公司参与招投标项目376次,专利信息167条,此外企业还拥有行政许可229个。

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来源:市场资讯

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