捷佳创取得卧式HWCVD设备工艺腔室专利,提高了镀膜的均匀性
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2026-01-30 21:00:40
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国家知识产权局信息显示,常州捷佳创精密机械有限公司取得一项名为“卧式HWCVD设备工艺腔室及工艺腔室”的专利,授权公告号CN223852763U,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本实用新型属于太阳能电池生产制造领域,尤其涉及一种卧式HWCVD设备工艺腔室及工艺腔室,其中卧式HWCVD设备工艺腔室包括:腔体,其上部设置有匀气腔,匀气腔内设置有多层覆盖式匀气室,且匀气室设置有进气通道,进气通道通入的工艺气体经过匀气室进入匀气腔,喷淋模块,其喷淋经匀气室均匀混合后的工艺气体,热丝模块,其包括若干均匀间隔设置在喷淋管间的热丝组。本实用新型通过设置多层覆盖式的匀气室,在匀气室内均匀混合工艺气体,并通过将热丝组均匀间隔设置在喷淋管间,进而充分加热分解喷淋管喷淋的工艺气体,提高了镀膜的均匀性,实现了大产能HWCVD设备产品稳定性好的效果。

天眼查资料显示,常州捷佳创精密机械有限公司,成立于2008年,位于常州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本50058.56万人民币。通过天眼查大数据分析,常州捷佳创精密机械有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目101次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息698条,此外企业还拥有行政许可27个。

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来源:市场资讯

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