天津北方网讯：“五一”假期刚过，位于天津市津南区的华海清科股份有限公司（简称“华海清科”）传来新消息：华海清科全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE成功交付国内先进存储领域龙头企业。

离子注入机是集成电路前道工艺的关键核心装备，技术壁垒高且长期由国际巨头垄断。华海清科的iPUMA-LE关键性能指标已达到国际先进水平，具备优异的束流传输效率、注入均匀性与角度控制能力，能够满足先进制程、先进存储对离子注入工艺的严苛要求。而华海清科，这家从天津津南走出的科创板上市企业，其成长故事要从13年前说起。

从清华实验室到津南沃土

华海清科的起点，始于一项被“卡脖子”的核心技术。化学机械抛光（CMP）被称为晶圆的“磨光师”，是实现芯片原子级别表面平整度的关键工艺，长期被美日企业垄断，成为我国集成电路产业发展的重要瓶颈。2008年，清华大学路新春教授团队承接国家科技重大专项，正式向CMP装备研发发起攻关。2012年工程样机研制成功，但从实验室到产业化，资金、场地、市场等诸多难题横亘在前。

彼时的津南区正处于转型发展关键期，聚焦高端装备、集成电路等战略性新兴产业，将高校科研成果转化作为培育新质生产力的重要抓手，将高层次人才作为产业发展的核心要素。面对这支十余人的清华科研团队，津南区委、区政府主动对接，提供厂房免租、政策兜底、资源对接等一系列支持。2013年4月，华海清科正式落户津南。

对于这家初创阶段典型的“轻资产、重研发、高风险”科技企业，津南区将服务人才作为首要切入点。企业办公场地有限，政府第一时间协调标准化厂房，实现“落地即办公、研发即进场”；科研人员不熟悉行政流程，区里组建专项对接小组，全程代办工商注册、项目备案等手续；团队面临人才缺口，区委人才办主动联动海河教育园和清华大学，精准输送专业人才。一套服务机制让创业者得以集中精力投入技术攻关。

以正确政绩观护航长期陪跑

2017-2021年是华海清科持续投入研发、尚未盈利的时期，也是技术攻坚、产品定型的关键期，津南区没有急于追求短期税收与产值，而是将研发支持、资金纾困作为服务重点。2017年，华海清科营收1918万元，净利润亏损超1500万。面对资金压力，津南区持续兑现研发补贴、协助对接市级科技专项、搭建融资对接平台……帮助企业拓宽资金渠道。

这种“谋长远”的选择，折射出正确政绩观对地方产业发展的引领作用——功成不必在我，功成必定有我。信任不久结出果实。企业仅用一年时间就研制出中国首台国产12英寸CMP商业机型Universal-300，填补国内空白；Universal-300Plus进入头部重点客户客户端，研发团队78天实现从装机到产出百片合格晶圆，创造了国产核心工艺设备在集成电路大生产线上线的效率纪录。此后，华海清科CMP设备国产替代率跃居全国首位，产品覆盖国内众多头部晶圆厂。

随着企业步入成长爆发期，津南区的服务同步升级。在人才服务上，推出“津南十条”等政策，对核心人才给予安家、医疗、住房等支持，并联动海河教育园为企业定向培养、输送高素质产业人才；在资金赋能上，搭建财政补贴+金融贴息+产业基金联动模式，对企业研发投入、技改扩能给予补助，联动海河产业基金、区级引导基金直接注资入股，解决企业订单暴增后的资金周转难题；在产业支持上，将企业列为区级“链主企业”，在审批、政策兑现等环节提供优先服务；在空间保障上，在原有场地无法满足研发、生产、测试一体化需求时，为企业新厂区建设开通“重点项目绿色通道”，将建设周期压缩近半年。2022年6月，华海清科正式登陆上交所科创板，上市后，先后获评国家专精特新“小巨人”、国家制造业单项冠军、国家级企业技术中心，承担多项国家“卡脖子”技术攻关任务，成为服务国家集成电路产业战略的中坚力量，如今市值超680亿元。

从一企引领到全链集聚、全域赋能

13年携手，津南区的服务已从扶持单个企业拓展至打造产业链生态。以华海清科为“链主”，津南区规划建设海河集成电路设备产业主题园区，精准引育上下游配套企业，推动本地配套率持续提升，一个北方集成电路装备产业新高地正在加速崛起。

从清华实验室的一片初心，到津南沃土上核心装备不断突破，华海清科的成长轨迹印证了这样一个道理：培育硬核科技企业，需要以正确政绩观为引领，以长期主义的战略定力深耕人才引育和成果转化。13年来，津南区正是沿着这条路，将一粒创新的种子培育成了参天大树，而这棵树如今正为中国集成电路产业的自主可控不断贡献着力量。

（津云新闻记者 霍艳华 实习记者 王金宇 通讯员 于伟）