国产光刻新突破！我国首台光芯片纳米压印光刻机正式交付
创始人
2026-06-08 23:08:44
0次
快科技6月8日消息，璞璘科技近日向深圳力策科技正式交付型号为PL-AS的半导体级真空气压式纳米压印光刻机。该设备是国内首款光芯片专用纳米压印光刻设备，实现了国产光刻领域新突破。
此次交付的设备型号为PL-AS真空气压式纳米压印光刻机，全程绕开深紫外光刻路线，实现8英寸光芯片晶圆规模化量产。
该半导体级设备线宽分辨率小于10nm，晶圆整面压印压力均匀性误差低于 0.5%，同时支持无残余层压印工艺。
设备采用面接触气压工作模式，晶圆各区域受力均匀，可将残余层厚度偏差控制在2nm以内，适配光芯片生产要求。
对比辊压工艺，该方案规避线接触带来的形变问题；相较步进式设备，全域压印模式大幅提升量产效率。
它可实现跨尺度微纳结构一次成型，省去多道复杂光刻工序，在简化流程的同时保障产品生产良率。
本次合作聚焦激光雷达芯片量产，助力力策科技旗下光学相控阵芯片，面向车载、智能终端市场规模化落地。
技术层面，通过8英寸规模化量产验证，证实了国产纳米压印可在光芯片制造中稳定替代DUV工艺。
整套方案搭配定制双层压印胶材料体系，芯片制造成本压缩至传统DUV方案的十分之一。
目前这套纳米压印方案，已在光通讯化合物芯片、硅光环形导光结构芯片领域完成量产验证。
相关内容
热门资讯
近日！拱趴大菠萝怎么开挂，红龙...
近日！拱趴大菠萝怎么开挂，红龙poker辅助，本来真的是有挂（有挂解惑）在进入红龙poker辅助软件...
2026版辅助挂！aa pok...
2026版辅助挂！aa poker辅助包，德普之星怎么设置埋牌，本来真的是有挂（有挂方法）1、德普之...
无独有偶！德州透视脚本，德普之...
无独有偶！德州透视脚本，德普之星有透视辅助吗，切实是真的有挂（揭秘有挂）1、德普之星有透视辅助吗免费...
插件辅助挂！hhpoker有作...
插件辅助挂！hhpoker有作弊的吗，德普之星辅助器怎么用，竟然存在有挂（有挂解密）1、上手简单，内...
黑科技辅助挂！德普之星透视辅助...
黑科技辅助挂！德普之星透视辅助软件下载，德普之星辅助工具如何设置，真是真的是有挂（有挂助手）1、不需...
黑科技辅助挂！wpk俱乐部辅助...
黑科技辅助挂！wpk俱乐部辅助器，德普之星透视，一直真的是有挂（有挂秘笈）1、德普之星透视破解器简单...
反观！wepoker可以透视码...
反观！wepoker可以透视码，德扑之星辅助器，总是是真的有挂（有挂技巧）1、首先打开德扑之星辅助器...
昨日！hhpoker有后台操作...
昨日！hhpoker有后台操作吗，德普之星辅助器，本来确实有挂（讲解有挂）德普之星辅助器能透视中分为...
此事备受玩家关注！hhpoke...
此事备受玩家关注！hhpoker透视工具，智星菠萝有挂吗，一直真的有挂（有挂头条）1、操作简单，无需...
2026版辅助挂！sohoo开...
2026版辅助挂！sohoo开挂辅助，德普之星辅助软件，都是真的是有挂（有挂方略）1、打开软件启动之...