国产光刻新突破！我国首台光芯片纳米压印光刻机正式交付_科技动态

创始人

2026-06-08 23:08:44

0次

快科技6月8日消息，璞璘科技近日向深圳力策科技正式交付型号为PL-AS的半导体级真空气压式纳米压印光刻机。该设备是国内首款光芯片专用纳米压印光刻设备，实现了国产光刻领域新突破。

此次交付的设备型号为PL-AS真空气压式纳米压印光刻机，全程绕开深紫外光刻路线，实现8英寸光芯片晶圆规模化量产。

该半导体级设备线宽分辨率小于10nm，晶圆整面压印压力均匀性误差低于 0.5%，同时支持无残余层压印工艺。

设备采用面接触气压工作模式，晶圆各区域受力均匀，可将残余层厚度偏差控制在2nm以内，适配光芯片生产要求。

对比辊压工艺，该方案规避线接触带来的形变问题；相较步进式设备，全域压印模式大幅提升量产效率。

它可实现跨尺度微纳结构一次成型，省去多道复杂光刻工序，在简化流程的同时保障产品生产良率。

本次合作聚焦激光雷达芯片量产，助力力策科技旗下光学相控阵芯片，面向车载、智能终端市场规模化落地。

技术层面，通过8英寸规模化量产验证，证实了国产纳米压印可在光芯片制造中稳定替代DUV工艺。

整套方案搭配定制双层压印胶材料体系，芯片制造成本压缩至传统DUV方案的十分之一。

目前这套纳米压印方案，已在光通讯化合物芯片、硅光环形导光结构芯片领域完成量产验证。

我来教大家辅助器脚本!大同麻将... 我来教大家辅助器脚本!大同麻将多功能辅助器脚本，大同麻将本来是有辅助器脚本我来教大家辅助器脚本!大同...

实操分享外挂攻略!丽水都莱多功... 实操分享外挂攻略!丽水都莱多功能外挂攻略，丽水都莱其实真的有外挂攻略1、玩家可以在丽水都莱透视最简单...

重大通报透视器软件!随便字牌多... 重大通报透视器软件!随便字牌多功能透视器软件，随便字牌竟然真的是有透视器软件随便字牌能透视中分为三种...

发现一款开挂插件!小甘麻将多功... 发现一款开挂插件!小甘麻将多功能开挂插件，小甘麻将都是是真的有开挂插件1、操作简单，无需小甘麻将手机...

教程辅助辅助器技巧!闲来麻将多... 教程辅助辅助器技巧!闲来麻将多功能辅助器技巧，闲来麻将果然真的有辅助器技巧1、每一步都需要思考，不同...

必备辅助推荐开挂攻略!微乐福建... 必备辅助推荐开挂攻略!微乐福建麻将多功能开挂攻略，微乐福建麻将一直真的有开挂攻略1、微乐福建麻将辅助...

一起来探讨辅助器插件!万顺苑多... 一起来探讨辅助器插件!万顺苑多功能辅助器插件，万顺苑原来真的是有辅助器插件1、完成万顺苑有辅助插件，...

一分钟揭秘辅助器攻略!一乐浙江... 一分钟揭秘辅助器攻略!一乐浙江多功能辅助器攻略，一乐浙江都是是有辅助器攻略一乐浙江脚本下载中分为三种...

推荐一款透视器教程!海迅麻将多... 推荐一款透视器教程!海迅麻将多功能透视器教程，海迅麻将好像是有透视器教程亲，关键说明，海迅麻将透视脚...

今日公布辅助app!重庆蛮籽麻... 今日公布辅助app!重庆蛮籽麻将多功能辅助app，重庆蛮籽麻将其实是真的有辅助app1、重庆蛮籽麻将...