精电光科申请电子束曝光方法及系统专利,可精准控制曝光剂量
创始人
2026-06-21 19:31:42
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国家知识产权局信息显示,精电光科(北京)科技有限公司申请一项名为“电子束曝光方法及系统”的专利,公开号CN122239380A,申请日期为2026年4月。

专利摘要显示,本发明提供一种电子束曝光方法及系统,涉及电子束曝光技术领域,所述方法包括:通过电子束曝光设备对工件进行曝光,获得一次曝光后的工件表面的图形;通过检测模块,确定一次曝光后的工件表面的图形中的异常区域及其检测参数;根据检测参数,确定补充曝光剂量;通过转移设备将一次曝光后的工件转移至电子束曝光设备处,并根据所述曝光剂量对异常区域进行二次曝光,获得修正后的工件表面的图形。根据本发明,利用异常区域的检测参数直接控制电子束曝光设备进行二次曝光,实现曝光‑检测的闭环控制,对异常区域进行局部精确修复,可精准控制曝光剂量,不易破坏整体的物理化学性能,且提升加工效率和加工精度。

天眼查资料显示,精电光科(北京)科技有限公司,成立于2024年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析,精电光科(北京)科技有限公司专利信息3条,此外企业还拥有行政许可1个。

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来源:市场资讯

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