国家知识产权局信息显示,上海新微技术研发中心有限公司取得一项名为“一种SPTS设备的晶圆片传输结构及SPTS设备”的专利,授权公告号CN224531013U,申请日期为2025年7月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种SPTS设备的晶圆片传输结构及SPTS设备,包括变径筒状本体,其底部设有圆环底座,所述变径筒状本体包括由上至下同轴设置的第一筒段、第二筒段和第三筒段,所述第三筒段的周向开设有传送口,所述传送口的高度为所述变径筒状本体高度的1/3‑1/2,其周向长度为所述第三筒段周长的0.3‑0.5倍。通过设置变径筒状本体,且在第三筒段开设特定高度和周向长度的传送口,防止因长时间使用及频繁清洗后结构变形而导致的晶圆传输受阻问题。
天眼查资料显示,上海新微技术研发中心有限公司,成立于2013年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本144416万人民币。通过天眼查大数据分析,上海新微技术研发中心有限公司共对外投资了20家企业,参与招投标项目504次,财产线索方面有商标信息52条,专利信息894条,此外企业还拥有行政许可48个。
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来源:市场资讯