晶合集成取得套刻标记专利,提高套刻标记的量测精度
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2026-08-29 19:00:29
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国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司取得一项名为“套刻标记”的专利,授权公告号CN224696237U,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本实用新型提供一种套刻标记,包括前层套刻标记图形、前层保护图形和当层套刻标记图形,前层套刻标记图形位于当层套刻标记图形的外周,前层保护图形在第一方向上和前层套刻标记图形的边缘对齐,前层保护图形在第二方向上和前层套刻标记图形的边缘对齐,第一方向与第二方向垂直。本实用新型意想不到的效果是,将前层保护图形融入前层套刻标记图形中,保护前层套刻标记图形在后续化学机械研磨工艺中不被破坏,降低了非对称图形的产生,从而提高套刻标记的量测精度,且没有增加生产成本;并且前层保护图形在第一方向上和前层套刻标记图形的边缘对齐,前层保护图形在第二方向上和前层套刻标记图形的边缘对齐,前层保护图形没有占用切割道空间。

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200759.1697万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了13家企业,参与招投标项目650次,财产线索方面有商标信息54条,专利信息1798条,此外企业还拥有行政许可35个。

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来源:市场资讯

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