1、工作原理

扫描电镜是一种利用电子束扫描样品表面，通过检测电子与样品相互作用产生的各种信号来获取样品表面微观结构信息的电子显微镜。电子枪发射出的电子束，经过电磁透镜聚焦和加速后，形成一束高能量的细电子束，扫描线圈控制电子束在样品表面进行逐行扫描。电子束与样品表面的原子相互作用，会产生二次电子、背散射电子等信号，这些信号被探测器收集并转换为电信号，再经过放大和处理后，在显示屏上显示出样品表面的图像。

2、特点

- 高分辨率：能够达到较高的分辨率，一般可以达到纳米级别

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