极目新闻通讯员李婧 曾笑天

6月12日，在由湖北省人才事业发展中心主办的创立方·2025年第四期博士后和留学回国人才创业路演活动上，武汉大学团簇离子束团队带来的“用于EUV光学元件原子级制造的团簇离子抛光技术研发及产业化”项目成为全场焦点。该项目凭借在半导体关键设备领域的突破性创新，吸引了点亮投资等10余家投资机构的重点关注。

活动现场整体图

“我们的技术可以将光学元件表面粗糙度控制在0.12纳米，相当于一个原子的直径。”付德君教授在路演中介绍道。这项源自武汉大学离子加速器实验室的技术，已成功研制出三种团簇离子抛光机，包括国内首台套脉冲型原理样机，完全满足EUV光刻机镜头等高端产品的原子级表面精度需求。

武汉大学团簇离子束团队付德君教授路演图

据了解，该项目团队自2015年获国家国际科技合作专项支持以来，与俄罗斯多所顶尖科研机构展开深度合作，在团簇离子源及离子抛光机研发领域取得系列突破。其核心技术不仅填补了国内空白，更突破了西方国家在极紫外光刻领域的设备封锁，为我国半导体产业链自主可控提供了关键支撑。

“目前我们正寻求新一轮融资，主要用于技术研发和产学研合作。”付德君教授表示，这些资金将用于持续技术攻关、科研设备购置和人才队伍建设。团队同时希望对接光刻机整机厂商、金刚石光学窗口片生产企业等产业链上下游资源，加速技术产业化进程。

现场点评

武汉点亮股权投资管理有限公司总经理王会敏在点评时指出：“该项目直指我国半导体设备制造的痛点，技术壁垒高、市场刚需强，具有显著的进口替代价值。特别是其与俄罗斯科研机构的国际合作基础，为后续技术迭代提供了持续保障。”

活动现场，多家投资机构对该项目表现出浓厚兴趣，并与团队进行了深入对接。据悉，该项目技术已通过多项工艺验证，具备产业化条件，有望在短期内实现国产高端光学加工设备的突破。

（通讯员供图）

（来源：极目新闻）