新毅东申请光刻机可变狭缝控制相关专利，实现多电机的协同控制
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2025-07-11 06:40:24
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金融界2025年7月9日消息，国家知识产权局信息显示，新毅东（北京）科技有限公司申请一项名为“光刻机可变狭缝的控制方法、系统以及光刻机”的专利，公开号CN120276220A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本申请提供了一种光刻机可变狭缝的控制方法、系统以及光刻机，其中，该方法包括：全局控制器获取驱动装置中各电机的当前状态数据，全局控制器根据驱动装置中各电机之间的关联关系，确定至少一个电机组，全局控制器根据目标电机组中的各电机的当前状态数据，基于预先训练得到的行为预测模型进行协同预测，得到目标电机组中各电机在未来至少一个时间步的行为预测数据，并将各行为预测数据发送给分布式协同控制网络，分布式协同控制网络根据各行为预测数据并经由各电机控制器控制各电机运行。
天眼查资料显示，新毅东（北京）科技有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3589.4516万人民币。通过天眼查大数据分析，新毅东（北京）科技有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目60次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息118条，此外企业还拥有行政许可7个。
来源：金融界
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