元臻微电首条量子材料生产线试产

湖北日报讯 （记者王欣、通讯员蔡青阳、孙一琪）8月26日，湖北元臻微电科技有限责任公司洁净厂房内，第一条xMR生产线已架设完毕，高真空退火炉、磁控溅射等设备正在进行全流程试生产，确保9月中旬交付产品。

“xMR技术是一种高性能量子磁传感技术，它就像感知物理世界的精密‘触角’，从工业自动化到智能驾驶，从医疗成像到量子计算，都离不开它。”该公司副总经理韩根亮介绍。

2023年11月，元臻微电落子孝感，计划投资2亿元建设年产2万个xMR量子材料项目。该项目依托三大核心产品矩阵发力：xMR晶圆材料类，如同建筑的基石，提供高性能磁性薄膜晶圆；xMR传感核心类，构建磁信号转换的精密“桥梁”；TMR（隧道磁阻）+MEMS（微机电系统）基础结构类，为多传感器融合奠定基础。

韩根亮介绍，xMR量子材料在外加磁场作用下，电阻变化幅度可达到传统霍尔技术的数百倍，沉积薄膜工艺一致性控制在1.0%以内，处于国内领先水平。其中，一款xMR晶圆为小量程高精度，另一款为大量程高线性度，主要满足智能电网、消费电子、人形机器人等应用领域。其核心在于铁磁/非磁/铁磁（FM/NM/FM）的纳米级三明治结构，通过电子自旋实现物理级信号的精密转换。这种自旋电子学的应用，使器件具有体积小、超低功耗、高灵敏度、抗辐射和寿命长等优点，可实现“感存算一体”功能。

以智能电网为例，电流通过导线时会在周围产生磁场，这个磁场会改变xMR量子材料传感器内部电子的“排队方向”，从而让材料的电阻发生精确变化。通过测量电阻变化，就能测算出电流大小，这对长距离高压输电中的电流及损耗监测至关重要。同时，也能用于家庭电表漏电检测。

在生物传感器方向，相关技术主要用于阿尔茨海默病的初步筛查，也适用于肺癌等肿瘤细胞筛查、乳腺癌筛查以及制药厂的检测场景。检测时间仅需半小时，精准度高。