华海清科获得实用新型专利授权:“抛光头和抛光设备”
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2025-09-16 07:20:37
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科(688120)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“抛光头和抛光设备”,专利申请号为CN202422645648.6,授权日为2025年9月16日。

专利摘要:本申请实施例提供了一种抛光头和抛光设备,该抛光头包括:基座;保持环,设置于基座下方;抛光头气膜,设置于基座且置于保持环内侧,用于固持晶圆;保持环气膜,设置于保持环内侧且置于保持环和抛光头气膜之间,保持环气膜加压膨胀时与晶圆的边缘相接触,以对晶圆的边缘施加作用力,作用力在晶圆的边缘形成径向夹紧力和轴向下压力。本申请通过保持环气膜对晶圆的边缘施加径向夹紧力和轴向下压力,该径向夹紧力可夹持晶圆,防止晶圆在抛光过程中移动,减低了滑片的风险;该轴向下压力可在晶圆抛光过程中对晶圆的边缘施加压紧力,可以更精准地控制晶圆边缘的抛光效果,保证了整个晶圆表面的抛光一致性。

今年以来华海清科新获得专利授权66个,较去年同期增加了153.85%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.44亿元,同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目231次;财产线索方面有商标信息89条,专利信息716条,著作权信息30条;此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源:天眼查APP

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