芯片这行当,有时候领先一步就是天壤之别,可有时候砸钱抢第一台机器,也未必就能稳赢。2023年底到2024年初,ASML把全球第一台商用High-NA EUV光刻机发给了英特尔,这事儿在圈子里炸开了锅。过去十几年,台积电几乎每次新设备都抢头筹,这次却主动退了一步,让英特尔把2024年全年的High-NA产能全包了。外媒直呼ASML尴尬:最贵的光刻机做好了,最有钱的大客户却说“先等等”。
事实摆在那儿。2023年12月,ASML把第一台Twinscan EXE:5000模块运到英特尔俄勒冈厂,2024年4月组装完成。紧接着,英特尔又把2024年剩余的五六台产量全签走,每台3.7亿美元左右,总花销接近20亿刀。韩国媒体TheElec报道得最直接:三星和SK海力士得等到2025年下半年才能摸到货。台积电呢?高层在2024年5月的欧洲技术论坛上摊牌,业务开发副总裁Kevin Zhang说A16工艺完全不需要High-NA,现有的Low-NA EUV加多重曝光就够了,那东西太贵,性价比不高。
这不是台积电没钱,而是算得精。High-NA单台贵得离谱,曝光场只有Low-NA一半,版图得重画,良率还得从头爬坡。台积电一看账本,发现用老设备多套几层掩模,反而成本更可控,时间也更快。2024年全年,台积电在新竹和台南厂区继续大规模部署Low-NA EUV,工程师们靠自研配方把密度和功耗指标硬压到预期。反观英特尔,俄勒冈D1X厂2024年把好几台High-NA跑起来,每季度能处理几万片晶圆,数据看着亮眼,但每片晶圆的摊销成本高得吓人。
ASML这边开始尝到苦头。2024年10月财报电话会,高管Roger Dassen承认2025年Low-NA出货要下调到50台以下,主要就是大客户推迟了新节点扩产。订单簿里,英特尔虽然买得多,但一家吃不下那么多,三星在掂量,台积电直接说A16不用。外媒总结得狠:ASML把光刻机做成了奢侈品,可买家突然都学会过日子了。
时间来到2025年,英特尔把前两台High-NA正式投产,2月宣布每季度能跑3万片,机器可靠性比上一代EUV好一倍。同一时期,台积电的N2工艺进入风险生产,A16也开始小量试产,全靠Low-NA撑着。数据一对比,台积电的功耗指标低15%,密度只差一点点。业界第一次发现,原来不抢最贵的那台机器,也能把节点往前推。
三星2025年3月在华城装了第一台High-NA,本来想追一追,结果内部会议记录显示成本压力太大,2nm GAA良率爬坡慢。SK海力士干脆先拿来跑HBM,没急着上逻辑。ASML最难受,2025年Q3财报显示High-NA只卖出十几台,远低于预期。CEO Christophe Fouquet在电话会上说,客户对成本非常敏感,得证明密度提升值回票价。
台积电这边,2025年还是那句话:够用就行。9月有报道说他们终于低调收了一台High-NA,放研发线慢慢玩,不急着量产。A14工艺规划里,初始版本继续用Low-NA,背面供电也先推到A14P。台积电算盘打得响,用成熟设备把良率和成本控死,再让客户帮着分担风险。
英特尔虽然机器到手最多,但18A良率爬坡、14A还得继续烧钱。2025年9月又有消息说他们追加了两台High-NA订单,把14A当成翻身仗。可圈里人都知道,光有机器不行,生态、良率、客户订单缺一不可。ASML呢?Hyper-NA的概念图还在画,数值孔径往0.75冲,单台成本可能破7亿刀。客户就那么几家,谁敢随便点头?
这事儿说白了,芯片圈从“谁先拿到新机器谁就赢”变成了“谁最会用钱谁才活得舒服”。台积电把优先权让了,却没让出领先位置。英特尔抢到了机器,却还在跟成本和良率死磕。ASML把技术推到天花板,却发现最赚钱的老客户开始精打细算。2025年10月,这局棋下到这儿,谁都没笑到最后,但大家都知道,下一张牌更贵,也更难出。